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第141章 光刻机难么?一点都不难!

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第二天。

高新区,东海微电子公司。

叶云明来到了这家在龙国范围内,唯一具有生产出DUV光刻机的公司——虽然他们的光刻机还不是特别好用。

随后他就以‘龙国芯片联盟’会长的身份,要深入研发一线,带领该公司上千名的研发人员,找出DUV光刻机所存在的问题,解决掉一切隐患,争取在较短时间内,把光刻机的稳定性可靠性提升上去,不再让光刻机成为龙国芯片产业的薄弱环节。

故而叶云明也穿上了一身防尘服,让人给他准备了一张单人床,这些天都要吃喝住在工厂,直到把光刻机的问题解决为止。

对他的这番做法,东海微电子公司的大部分技术人员,都是欢欣鼓舞、士气大增,可谓军心大振。

但……

也有少部分的资深技术人员,颇有微词,心里不是很爽,甚至有强烈的吐槽冲动。

要知道光刻机内部的高精密零件,超过10万个之多。

工作时环境要求复杂且苛刻,十公里外的火车震动,都可能会给它的加工精度带来影响。

光刻机用的反射镜,其表面的高低误差,不得超过1纳米,即几个原子的直径。

还有光源的问题。

散热的设计。

双工件工作台的控制精度。

误差纠正与自检测系统等。

每一个的技术细节,都具有极高的难度。

总的制造难度,确实不亚于研制出氢弹。

即便如此。

他们还是只用了大概一千个的日夜,就把所有难题都攻克了,成功造出了可以使用的国产DUV光刻机——当然里面也有许多配件厂商的功劳。

虽然目前的可靠性还不是很高,偶尔会出一些故障,以及误差累积等原因,导致加工出的芯片良率不高,但只要给他们时间不断改进,边用边调整,所有问题最终都会解决——爱斯麦尔公司的DUV光刻机,也是这么走过来的。

然而这位对光刻机不怎么了解的叶总一来,就要带领他们解决可靠性不高的问题,说实话,这是对他们过去上千个日夜努力工作的否定和侮辱,光刻机不是小孩过家家的玩具,不是什么外行人都能指点江山一二。

即便叶云明这位外行,是完美超导材料技术的发明者,即便他们所研制的这款DUV光刻机,内部也用了不少超导材料,明显降低了光刻机的研制难度。

但在少数技术人员心里,对叶云明这个年轻人,还是非常不满与不服。

包括东海微电子公司的老板贺光,内心也不是特别欢迎叶云明的到来,有着几分的抗拒与不情愿,但又不得不拿出欢迎配合的态度。

另外,他们也有那么点‘看好戏’的心态,想看看这个叶云明,了解完光刻机极其复杂的内部结构后,对于如何提高工作稳定性,他能拿出什么样的妙招和办法?还是大概率跟他们一样,对许多问题抓耳挠腮、一筹莫展,只能通过实际的芯片生产,去发现具体的问题。

自然而然。

这些人的复杂心态,叶云明压根没时间去理会,他全身心的投入到了对光刻机的研究中。

刚开始三天,他了解清楚了光刻机的内部详细构造,在脑中的思维殿堂里,也构造出了一台光刻机的数学模型。

然后不断的进行推演,暴露问题,再进行优化和改进。

这过程一共持续了七天。

在第十一天,叶云明拿出了他的光刻机改进方案,没有增加多少新的零件,反而减少了1.1万个零件,写了套自己编写的光刻机控制程序,再调整了一些模块的分布位置,增加了不少巧妙设计,使得新款的DUV光刻机,看起来简洁明了,没有丝毫的杂乱无章,反而有种工业美感,看着就觉得很靠谱。

连那些想提出质疑的人,看完设计图后,都不由冒出了‘就该这么设计’的想法,实在挑不出什么毛病。

“就按叶总的设计方案,把新的光刻机组装出来!”

贺光拍板道。

很快。

上千人连续加班加点了五天。

新款的改进型DUV光刻机,成功组装了出来。

在实验室内试用了一番。

光刻清晰度有了极大提高。

稳定性至少提高了十倍。

连光刻功率、速度和效率,都有了五成以上的提高。

较之前的那款DUV光刻机,简直有了脱胎换骨的进化。

甚至连制造成本,都降低了大约15%,且更容易批量化生产。

再然后,这台改进版的光刻原型机,被送到了龙兴芯片公司的工厂,用于小芯粒的套刻生产,并很快传来了振奋人心的消息!

新款的DUV光刻机特别好用,小芯粒的良率,提高到了98.5%,完全达标!

连续工作24小时后,没有出现任何故障。

且光刻精度高、速度快,能满足小芯粒大批量生产的需求。

所以那台DUV光刻原型机,不必再返厂改进了,直接放在代工厂使用吧。另外务必要增加该型光刻机的产能,至少要生产出五十台、一百台、数百台,才能满足龙国整个芯片市场的需要,彻底解决芯片荒的问题。

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