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第261章 Made in 种花

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进入会议室之后,何苦坐在中央位置,通过会议室的计算机,将资料投影在背后的荧幕上。

没过多久,华老研发团队挨个入场。

在相互问过好之后,何苦言简意赅,直奔主题,“诸位,光刻机的进展如何?抛开光刻镜头之外,还有别的什么问题难以解决吗?”

“没有了,目前最棘手的问题就是光刻镜头。”华老看了眼众人,无奈的道:“镜头要求的精度减值太高了,我们找了很多单位,都找不到能加工这种材料的老师傅。”

何苦点了点头,一微米的光刻机用的光源相对较为容易搞定,整套设备的零件倒不至于用到十多万零件,一万出头足矣,而且还有部分资料,相对较为简单。

但就是镜头这个东西难搞,不过很快,这也不是问题了。

在众人沉默当中,很快,何苦将资料投影到荧幕上,缓缓说道:“长话短说,橡胶圈的问题相对简单,很容易解决,但是光刻机镜头的事情,是一个很复杂的事情!我需要大家的协助!”

“大家请看,离子束刻蚀机!我想了三天三夜,最后发现,想要稳定制作光刻镜头,非它不可!”

此言一出,众人顿时疑惑了起来,这种东西,还是第一次听说。

“这又是什么设备?原理是什么?能做什么?”

“这种东西能加工出我们需要的镜头吗?”

面对众人的问题,何苦缓缓说道:“完全可以!而且,离子束刻蚀的原理也相对简单,利用等离子体产生的低能离子东轰击需要去除的材料,通过物理溅射加以逸除。只要这台设备制造完成,今后,我们只需要将半成品镜头交给它完成最终处理就可以了!这是我们现在获取光刻镜头的最优解!”

“大家请看,这台设备由离子源、萃取栅系统和反应腔3个主要部分组成。离子源通入氢气或其他稀有气体产生低温等离子体,从而提供低能量离子。”

“何总工,冒昧问下,我们如何的获取离子?”

“可以通过电子回旋微波共振等离子体技术来获取较高密度离子,这个技术我早就想好了,等下细说。”

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