他摇摇头，指了指旁边几条干燥后依然卷曲、甚至开裂的生瓷带：“粘结剂和塑化剂的配比还是有问题。干燥应力不均匀，一烧结，全翘成瓦片了。”
旁边，岳伴教授蹲在地上，对着一台自制的小型风机发呆。
风机吼叫着，吹过一个装满多层超细玻璃纤维棉的“夹心饼干”式自制过滤器。
他手里拿着一个简陋的颗粒计数仪，原理是用光散射数灰尘，读数跳得让人心慌。
“不行，”岳伴关掉风机，噪音戛然而止。
他声音沉重：“这滤饼阻力太大，效率勉强够中效，离高效差得远。最关键的是，它自己就在掉纤维！简直是扬尘器！”
正在焊接不锈钢层流罩箱体的郑长枫，也走了过来，脸上被电焊弧光灼出一块红印。
“岳教授，梁工那边催了，垂直层流工作台的箱体本周必须密封检漏。可高效过滤器不到货，我们这‘洁净岛’就是无源之水。”
压力，像车间里日益浓厚的金属和灰尘的味道，无处不在。
陈光远看着外面阴沉的天。
他想起邓教授的论文，此刻正在国际学术界引起阵阵波澜，吸引着对手的目光和资源。
而他们这里，却在为最基础的空气过滤发愁。
“不能等。”陈光远声音不高，但斩钉截铁，“两条腿走路。汤教授，你带人继续攻流延法，但目标调整：不求大面积薄片，先试制小尺寸、高强度的多孔陶瓷过滤单元，哪怕只够给关键设备做自带送风头的终极过滤段。”
“那主要的送风系统呢？”岳伴问。
“用夹心饼干。”陈光远指指那个简陋的过滤器，“但不是最终方案。郑老师，你配合岳教授，把它升级。我们不用玻璃纤维棉了，那东西确实爱掉渣。我去打听，有没有够细够结实，本身不产尘的其他纤维材料。”
岳教授点点头：“去纺织研究院找找，还有，造纸厂也许有门路。”
就是这种思路，他们缺的不是聪明才智，是信息和材料。
陈光远又道：“另外，梁工那边，层流罩的密封和检漏标准不能降。过滤器我们可以后续更换，但结构密封一旦留下隐患，未来就是灾难。”
陈光远风风火火的离去，吕辰走到车间中央，那里用石灰画出了光刻机和涂胶台的预定位置。
哈工大的包康建教授，正带着人用水平仪和自制的准直望远镜，反复调整一个混凝土基础块的水平。
“包教授，微振动测试怎么样了？”
包康建直起腰，揉了揉后颈。
“独立基础浇筑得很扎实，我们用的钢丝绳隔振器初步测试，能滤掉大部分来自地面的中高频振动。”他指着窗外隐约可见的铁轨，“但是，火车经过时的低频振动，尤其是那种‘轰隆隆’的次声波，隔振器效果有限。而光刻对准，最怕的就是这个。”
“有什么办法？”
“加质量。”包康建言简意赅，“给光刻机自身再加一个高质量的平台，最好是花岗岩的，质量越大，惯性越大，越难被低频振动带动。但问题是……上哪找那么大、那么平的花岗岩？而且怎么运进来，怎么安装？”
又是材料，又是加工。
吕辰也感觉太阳穴在跳，他知道，这只是开始。
洁净、振动、水电风气……，七只老虎，环环相扣，一只比一只凶猛。
“包教授，花岗岩我来想办法。”吕辰深吸一口气，“您先按照最理想的方案设计平台结构和隔振系统。材料问题，我们一起攻克。”
就在这时，上海医工院沈工程师，一脸铁青地快步走来。
“小吕，出问题了。”
“怎么了？”
“离子交换柱，南开大学提供的核子级树脂，才运行两周，脱盐效率就急剧下降。我们拆开检查，发现树脂颜色发黑，床层板结。”沈工的声音带着压抑的怒火和心疼，“那树脂，比金沙还贵！”
“原因？”
“初步判断，是再生用的电子级酸碱纯度不够，或者再生过程中引入了污染。但上海试剂总厂拍胸脯保证他们的产品是最高级别。”沈工眉头拧成疙瘩，“也可能是我们的再生操作流程有问题，或者……管道有我们没检测到的微量渗漏。”
吕辰的心沉了一下。
超纯水是芯片的“血液”，血液被污染，一切归零。
“彻底排查。”吕辰斩钉截铁，“从试剂来源、储存容器、再生步骤、管道焊缝，一寸一寸地查。沈工，我们得成立一个事故分析小组，记录每一个细节，分析每一种可能。这次事故的教训，要比那点树脂珍贵得多！”
沈工重重地点了点头，转身快步离去，背影有些佝偻。
大家都知道他压力有多大。
傍晚，天色擦黑。
车间里依然灯火通明，各种敲打、焊接、调试的声音交织在一起。
吕辰回到办公室，桌上摊开着《中试线标准操作规程（草案）》的草稿。
他拿起笔，想在“超纯水系统再生操作”章节加上更严格的步骤确认和双人复核要求，却觉得笔有千斤重。
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