喧嚣的焊接实验现场,随着刘主任带着满意的结果和沉甸甸的图纸离开,终于恢复了平静。
但李晓宇的脚步,并没有因此而停歇。
他转身,穿过了重重安检,来到了位于地下深处,那个全中心保密等级最高,也最安静的地方——“精卫”计划联合攻关实验室。
这里,没有机器的轰鸣,没有飞溅的火花。只有恒温恒湿系统发出的轻微嗡嗡声,和空气中弥漫着的一种,近乎于神圣的洁净气息。
长春光机所所长张承平院士,正穿着全套的白色防尘服,站在一台被厚厚的防辐射玻璃包裹着的,结构极其复杂的仪器前,全神贯注地观察着示波器上的波形。
这是一台,由“金陵中心”和长光所,耗时一年多,联手打造的——超精密深紫外激光直写光刻机。
“李总工,你来了。”看到李晓宇进来,张院士摘下护目镜,虽然满脸疲惫,但眼中却闪烁着兴奋的光芒,“光源稳定了!我们的‘全固态深紫外激光器’,连续运行了四十八小时,功率波动被控制在了千分之一以内!这是世界级的水平!”
李晓宇点了点头,心中也松了一口气。光源,是光刻机的心脏,它的稳定性,直接决定了刻划线条的质量。
“那就开始吧。”李晓宇下达了指令,“让我们看看,这只‘精卫’,到底能不能填平那片技术的汪洋大海。”
实验开始。
在“女娲”系统那经过特殊优化的,纳米级运动控制算法的驱动下,承载着一块超纯净光学玻璃基板的“龙渊”气浮工作台,开始以一种肉眼无法察觉的,极其缓慢而平稳的速度移动。
与此同时,那束人眼不可见的深紫外激光,在精密光学系统的聚焦下,汇聚成一个直径只有几百纳米的光斑,如同上帝的刻刀,精准地轰击在玻璃表面的光刻胶上。
没有声音,没有震动。
只有屏幕上,那一行行飞速跳动的坐标数据,在诉说着这场微观世界里的“宏大工程”。
每一秒钟,都有数以万计的,宽度只有微米级的栅线,被整齐地排列在玻璃上。它们之间的间距误差,被死死地控制在纳米级别!
整整十个小时。
当最后一条栅线刻划完成,工作台缓缓停止时。
那块原本透明的玻璃基板,在特殊的灯光照射下,折射出了如同彩虹般绚丽的,充满了科技感的衍射光芒。
那是“莫尔条纹”的魔法,也是人类精密制造的巅峰体现。
经过最严格的检测,结果让所有人都欢呼雀跃。
“全长精度误差:0.1微米!”张院士激动地挥舞着检测报告,“这意味着,我们终于拥有了制造最高等级光栅尺和编码器的母机!我们的‘精卫’,填海成功了!”
有了它,“夸父”伺服系统的高精度编码器,就有了着落;“昆仑”机床的全闭环控制,就有了保障!中国的高端数控产业,终于补上了最后一块短板!
然而,看着眼前这台凝聚了无数心血的光刻机,李晓宇的目光,却变得更加深邃。
他想到了更远的地方。
“张老,您辛苦了。”他握住老院士的手,诚恳地说道,“但是,这台机器的使命,不仅仅是刻光栅尺。”
他指着那束深紫色的激光,语气中透着一种,透过现象看本质的洞察力。
“既然我们能用它,在玻璃上刻出微米级的线条。那我们为什么,不能用它,在硅片上,刻出纳米级的电路呢?”
张承平院士猛地一震,他看着李晓宇,眼中满是不可思议。
“你是说……芯片光刻机?!”
“没错。”李晓宇点了点头,“随着我们的‘女娲’系统越来越复杂,对芯片算力的要求也越来越高。现在我们还能买到国外的芯片,但未来呢?如果有一天,连芯片也被禁运了,我们的‘大脑’,难道要停止思考吗?”
“未雨绸缪,刻不容缓。”
他当场提出了一个,比“精卫”计划更加宏伟,也更加艰难的构想。
“我要在‘精卫’的基础上,启动代号为**‘神光’**的,国产分步重复投影光刻机(Stepper)研发计划!”
“我们要利用现有的光源和运动控制技术,结合更先进的投影物镜系统,去挑战那个,被ASML和尼康垄断的,半导体皇冠上的明珠!”
张承平院士深吸了一口气。他知道,这将是一场比之前所有战役都要艰难百倍的苦战。光刻机,那是集人类光学、机械、电子、材料等所有学科之大成的终极产物。
但他看着眼前这个年轻人那坚定得如同磐石般的眼神,心中那股老骥伏枥的豪情,也被再次点燃。
“好!”老院士重重地点了点头,“只要国家需要,只要你李总工敢带头,我这把老骨头,就陪你再疯一次!”
走出实验室,夜色已深。
满天星斗,闪烁着冷冽的光芒。
李晓宇对一直跟在身后的林涛说道:“林涛,去订几张机票。明天,我们要去一趟上海。”
“上海?”林涛有些疑惑。
“对,上海。”李晓宇望着南方的夜空,目光深远,“那里,有我们国家最好的半导体专家,也有我们未来‘神光’计划,最需要的盟友。新的战场,要开启了。”
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