学霸的军工科研系统

十月廿二

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第1605章 去你们华芯国际看一看

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吴明翰作为内行人,当然知道再怎么高精尖的工控需求也不太可能跟消费端一样,所以对方的提问大概率是醉翁之意不在酒。

因此比较委婉地回答道:

“常院士,智能制造和物联网这块,主要应该是48nm,或者更成熟的65nm、90nm节点,这些算是我们目前产能的主力,良率和稳定性经过多年打磨已经相当不错,成本也有竞争力,但是……”

他话锋一转,转向另一个角度:

“您说的‘更精细节点’,如果想通过NXT:1950i这样的深紫外设备制造,那就要结合离轴照明、相移掩模、还有多重曝光这些技术,去强行实现比理论极限更高的分辨率……技术上,我们确实在攻关,也取得了一些成果。”

常浩南也看出对方是会了意,于是追问:“量产能力和良率如何?”

吴明翰摇摇头,语气变得沉重起来:“理论上,曝光次数每翻一倍,分辨率就能增加一倍,但实际问题非常大……”

说到这里他略略加快脚步,和常浩南来到一个稍僻静的地方:

“一方面,这些技术本身极其复杂,工艺整合还不完全成熟,任何一个环节的波动都会导致失败。另一方面,多重曝光极大地增加了工艺步骤和套刻对准的次数,每一次对准都会引入微小的误差,累积起来,会导致芯片上特征尺寸的均匀性变差,关键尺寸偏差飙升……”

“总体来说,双重曝光可能可以实现比48nm更高的特征尺寸,但良品率和成本都不太容易控制,产能也就不可能提上去,至于四重曝光……”

吴明翰脸部肌肉抽动了一下:“理论性能几乎可以对标EUV,不过大概率连一片产品都流不出来。”

常浩南静静地听着,脸上没有任何惊讶或失望的表情,仿佛早已预料到这个答案。

他对吴明翰描述的困境不置可否,既没有追问细节,也没有表达看法。只是在吴明翰说完后。

只是沉默了几秒钟,然后提出了一个让吴明翰更加意外,却又隐隐觉得合情合理的请求:

“吴院士,您说的我明白了。技术攻关的艰难,我深有体会。”他停顿了一下,“不知是否方便……我想近期亲自去华芯国际的晶圆厂参观一下……不需要特别安排,就看看你们最真实的生产线和工艺现状。”

实际上,这个要求提的有些冒失。

华芯国际毕竟是个企业,常浩南手里也有企业,虽说不构成直接竞争,但你开口就要去最核心的地方看看,总归不太合适。

但吴明翰心中却念头飞转:常浩南院士突然对芯片制造产生了浓厚兴趣?而且是成熟制程?还要实地看生产线?

这绝对不仅仅是出于对智能制造芯片供应商的考察那么简单。

联想到火炬实验室那些前沿研究成果……

吴明翰的心脏不由得加速跳动了几下。

他隐隐感觉到,这次参观如果成行,或许会带来一些意想不到的转机。

“当然方便!”吴明翰冒着越俎代庖的风险应承下来,“我马上联系人安排!您看什么时候合适?我们全程配合!”

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